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苏州普旭真空泵厂家为您介绍真空机组抽气阶段
2020-03-21
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相信对于大多厂商来说，使用苏州普旭真空泵是为了使容器，通过抽气操作达到一种真空状态，然而由于部分较大的设备，或是系统规模较大，可能使用的就不再是单一的真空泵，而是真空机组，这是就有必要清楚，真空机组在抽气时，共有三个阶段，接下来我们将具体介绍这三个阶段。
不放气的即使真的不漏气，放气总是存在的，实际上在抽除真空室内气体的过程中，压力的变化规律。当压力较高时，系统的漏气量和放气量相对空间的气体量较小时，其影响可以忽略，可以认为近似满足不漏气和不放气的条件。当压力较低时，系统的漏气量和放气量不可忽略，甚至成为主要的气体负载时，就要发生偏离，表示在压力下降变为缓慢，一般发生这一转变的压力在0.5Pa左右，因此一个真空系统典型的抽气过程，先是压力下降很快，某一压力开始变慢。由于一个合格的真空系统对其漏率有严格的要求，所以放气是影响系统压力降低的主要因素，而放气是一个缓慢的过程，即使采用烘烤等强化措施，要达到某一预定的压力，往往要经过很长的时间。
任何真空系统都希望尽量缩短抽气的时间，这关系到效率提高和降低能耗，但并不是所有的真空应用都具有缩短抽气时间的条件。可以把不同的真空应用分为两大类，一类是不改虑系统内的放气量，而只有真空度的要求；另一类是要求真空室内充沛的放气，即放气率要降到某一临界值。这两类不同的应用对泵配置的要求是不一样的对于前一类应用，如真空度要求在0.5pa以上，只要时间常数足够的小，便可昼量缩短抽气的时间。但如真空度要求在0.5Pa以下，就必需改虑放气对压力变化的影响；放气量随时间的变化缓慢。目前，涡轮分子泵的泵送速度不能满足大规模蒸发镀的要求，但高速低温泵是工业规模涂层不能承受空间气体的特性，根据泵送特性，采用分子增压泵去除气体，结合低温凝析水泵去除蒸汽，预计将实现新的抽真空过程。由于排气量的变化取决于温度和时间，因此与气相空间的压力关系不大，只要压力低于与现有吸附量相对应的平衡压力即可，一般在排气过程中满足该条件。因此，用强劲的抽速即使在很短的时间内把空间压力降至很低，依然不能明显减少真空室内的放气量，而必需配置合适的抽速，合理的烘烤温度下，合理的时间内使放气量达到工艺要求的水准，这一般要历经数10min的时间。这类应用较为典型的有钛金行业的溅射镀膜和离子镀膜,没有一个真空系统是不漏气，稀土永磁资料熔炼等。
其中，过量的活性气体会影响膜层的品质和材料的质量，工艺中均有一段较长时间的精抽过程。对于镀膜室为一立方左右的溅射或离子镀膜设备，一般配置4000升/秒抽速的真空机组，为了促使真空室和工件更快地放气，往往烘烤到300℃的温度。值得强调的钛金镀膜中，泵的抽速大小，泵的特性、抽气工艺及所需的堆积压力之间表示出的辩正关系。一个镀膜周期中，真空机组的抽气可以分为三个阶段，即精抽阶段，辉光轰击和溅射沉积阶段。精抽的目的为了减少真空室内的放气量,其结果主要决定于烘烤温度和抽气时间,与空间压力关系不大,特别是压力在同数量级内。因此，主泵的抽速在适当的差异内，精抽的效果是一样的真空室内的放气率都可降低到相同的水平，尽管所对应的极限真空不同。一般来讲主泵的抽气能力受到影响，激进地均采用节流的方法以牺牲抽速来换取泵的稳定工作，扩散泵和涡轮分子泵都是如此，尤其是扩散泵抽速损失更大，相应地放电的氩气流量也明显减少。然而这一阶段只有大的有效抽速，大的氩气流量才干获得更好的轰击清洗的效果。这一点上分子增压泵是有明显的优势。后的溅射堆积阶段典型的工作压力为0.5Pa扩散泵和涡轮分子泵仍需节流，且不说在该种情况下，堆积的压力难于稳定，减小的抽气速率势必要让精抽过程中所达到活性气体分压明显地回升。放气量一定的情况下，活性气体的分压高低决定了对堆积膜层质量的影响。
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